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首先我們先了解潔凈實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)規(guī)范與要求。
一、設(shè)計(jì)規(guī)范與要求
基本思路為經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、環(huán)保。凈化要求級別為萬級。實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)有一更、二更、風(fēng)淋和緩沖等實(shí)驗(yàn)前的準(zhǔn)備工作。采用人流、物流分開原則,以減少實(shí)驗(yàn)污染,保證安全。
1、布置緊湊、合理,滿足實(shí)驗(yàn)室操作和空氣潔凈度等級要求,同時(shí)力求科學(xué)性與經(jīng)濟(jì)性的原則,考慮實(shí)驗(yàn)室要求和發(fā)展及運(yùn)行費(fèi)用*優(yōu)。
2、潔凈室入口處設(shè)置風(fēng)淋室,能有效清除人體所帶灰塵,減少潔凈室的灰塵量,同時(shí)風(fēng)淋室也起到了氣閘的作用,防止不潔凈空氣由門進(jìn)入潔凈區(qū)。
3、潔凈室需向室內(nèi)供給一定比例的新鮮空氣,凈化過濾后進(jìn)入各實(shí)驗(yàn)室以補(bǔ)償排風(fēng),保證正壓及工作人員需要。
4、風(fēng)量回風(fēng)次數(shù)采用風(fēng)量調(diào)節(jié)閥對不同要求潔凈級別的區(qū)域進(jìn)行控制,以及壓強(qiáng)梯度的調(diào)節(jié),保證氣流同清潔區(qū)域流向污染區(qū)域,潔凈室不同級別之間壓差為≥5pa,潔凈室與室外壓差為≥10pa。
5、潔凈室設(shè)紫處燈殺菌裝置。
6、傳遞窗為全不銹鋼材質(zhì),機(jī)械聯(lián)鎖控制,內(nèi)帶滅菌裝置。
7、觀察窗為密閉潔凈窗,門為氣密潔凈門。
8、電源:AC220V/380V-50HZ。
9、室內(nèi)噪音≤60db(A)。
10、排風(fēng)口裝有高效過濾器,送風(fēng)口裝有高效過濾靜壓箱,以實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣潔凈,另外更換高效過濾器比較方便。
11、一般室內(nèi)送排風(fēng)采用上送下排方式,室內(nèi)排風(fēng)口應(yīng)設(shè)在室內(nèi)被污染風(fēng)險(xiǎn)*高的區(qū)域,單側(cè)布置,不得有障礙。
12、回風(fēng)口以余壓閥自動調(diào)節(jié)室內(nèi)壓力,保持正壓潔凈狀態(tài)。
其次,潔凈室如何分類?
二、實(shí)驗(yàn)室按用途分類(可分為兩大類)
1、工業(yè)潔凈室:
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。
它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
2、生物潔凈室:
主要控制有生命微粒(細(xì)菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為:
(1)一般生物潔凈室:主要控制微生物(細(xì)菌)對象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
(2)生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例:細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程(重組基因、疫苗制備)。
三、潔凈室等級之百級潔凈度
百級潔凈室概念:
100級潔凈間的氣流形式是層流方式,空氣以均勻的斷面速度沿同一水平方向流動,與流體力學(xué)的層流概念不太相同,垂直方向?qū)恿鞑⑶覀?cè)回風(fēng)。和百級以上潔凈間絮流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動)相比較,它具有效果完全、運(yùn)轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、使得空氣的塵埃粒子含量少,控制管理方便容易等優(yōu)點(diǎn),但是設(shè)備價(jià)格高令一些中小廠家難以承受,維護(hù)費(fèi)用也很高。
潔凈度:粒徑≥0.1微米的塵埃粒子數(shù)量需要小于100個(gè)。
壓差及溫濕度:溫度22℃±2;濕度55%±5;基本房間要滿布ffu,做高架地板。做MAU+ffu+DC系統(tǒng)。還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
照度:
由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求,而且又都是密閉性房屋,所以,對照明一向有很高的要求。主要有以下幾點(diǎn):
局部照明:這是指為增加某一指定地點(diǎn)的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明中一般不單獨(dú)使用局部照明。
混合照明:指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明,其中,一般照明的照度應(yīng)占總照度的10%-15%。
根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》編制組的調(diào)查,對工作認(rèn)為比較合適的*低照度作了統(tǒng)計(jì),其結(jié)果略高于150lx。因此,將一般照明的下限值定為150lx是合適的,雖然在300lx時(shí)有更高的工作效率。根據(jù)大量驗(yàn)收測定發(fā)現(xiàn),*低照度值達(dá)到200lx以上就比較困難,實(shí)際上150lx已相當(dāng)亮了,因?yàn)槠骄斩纫哂谒芏?/span>.工作區(qū)內(nèi)用平均照度意義不大,因?yàn)橛腥舾牲c(diǎn)在150lx以下,就不適合工作。對于特別要求高照度操盤點(diǎn)可以采用局部照明,而不宜普遍提高整個(gè)車間的*低照度標(biāo)準(zhǔn)。除可利用局部照明外,必要時(shí)也可利用自然光,當(dāng)平面上有外廊時(shí)就可以做到這一點(diǎn)。
應(yīng)用:醫(yī)院手術(shù)室,數(shù)據(jù)恢復(fù),半導(dǎo)體生產(chǎn)等
四、潔凈室等級之千級潔凈度
要了解千級潔凈室,我們先來了解“無塵”這個(gè)概念。按照國際慣例,潔凈室等級主要是根據(jù)每立方米空氣中塵埃粒子直徑超過劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂“無塵“并非沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)極低的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,在光學(xué)設(shè)備生產(chǎn)廠房中,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,千級的粒子數(shù)量是必然的要求。
潔凈度:
將不大于0.5微米粒徑的塵埃粒子數(shù)量控制在每立方米3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
壓差:
對于大部分凈化無塵車間,為了防備外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:潔凈區(qū)域的壓力要高于非潔凈區(qū)域的壓力;潔凈度級別高的區(qū)域的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的區(qū)域的壓力;相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
溫濕度:常規(guī)是溫度22±2度,濕度55±5%。
應(yīng)用場合:芯片生產(chǎn);高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn);還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀;裝配高質(zhì)微型軸承等。
五、潔凈室等級之萬級潔凈度
不同國家有不同的規(guī)定,一般來說,都依據(jù)美國政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為若干等級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、例如100級無塵室*大塵埃粒子數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示,那么萬級潔凈度等級怎么區(qū)分。
潔凈度:潔凈度10000級的意思即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
壓差及溫濕度控制:
1、溫度:干盤管系統(tǒng)控制。
2、濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。
3、正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。
檢測標(biāo)準(zhǔn):
氣流速度及其均勻度檢測,是無塵室效果的其他各項(xiàng)檢測的前提,這項(xiàng)檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
1、室內(nèi)潔凈度的檢測:潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測。
2、自凈時(shí)間的檢測:通過確定自凈時(shí)間,查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
3、照度的檢測:照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
4、振動的檢測:振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
5、溫、濕度的檢測:溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度,檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度,檢測無塵室中心點(diǎn)的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內(nèi)空氣相對溫度,檢測回風(fēng)溫度。
應(yīng)用場合:一般應(yīng)用于精密電子廠房,以及液體配制工廠,醫(yī)院住院部。